ตามข้อความศิลาจารึกของวัดตโปทาราม ได้กล่าวถึงเจ้าอาวาสวัดปราสาท ชื่อ พระมหาเถรสัทธรรมฐิรปราสาทเจ้า ได้รับอาราธนาจากเจ้าเมืองเชียงใหม่ ไปร่วมสังฆกรรมสวด แสดงในฐานะพระเถรชั้นผู้ใหญ่ แผ่นศิลาจารึกด้านที่ 1 บรรทัดที่ 13–16 ว่า "มหาสามาญาณสมโพธิป่าแดง มหาสุรสี มหาโพธิ์ มหาเถรธรรมเสนาปติเจ้า มหาเถรสัทธรรมฐิรปราสาทเจ้า" คำว่าปราสาทเจ้า น่าจะหมายถึงว่าวัดแห่งนี้ตั้งอยู่ในเขตที่ประทับของเจ้านาย สำนักงานพระพุทธศาสนาแห่งชาติระบุว่าตั้งวัดเมื่อ พ.ศ. 2035 ได้รับพระราชทานวิสุงคามสีมาเมื่อ พ.ศ. 2040 พระยาหลวงแสนคำได้หล่อพระเจ้าหมื่นทอง พระพุทธรูปสัมฤทธิ์ปางมารวิชัยถวายไว้ที่วัดปราสาทเมื่อ พ.ศ. 2133 ซึ่งปรากฏจารึกข้อความไว้ที่ฐานพระองค์นี้ด้วย

พ.ศ. 2366 ในสมัยเจ้าหลวงธรรมลังกาได้มีการบูรณะวัดปราสาท โดยโปรดฯ ให้พระยาหลวงสามล้านสร้างวิหารขึ้น ต่อมากรมศิลปากรประกาศขึ้นทะเบียนและกำหนด ขอบเขตวิหารวัดปราสาทในราชกิจจานุเบกษา เล่มที่ 96 ตอนที่ 167 ลงวันที่ 25 กันยายน พ.ศ. 2522[1]